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Micro and Nanofabrication (MEMS)

  • 전체관리자
  • 한국과학기술연구원
  • Bio-Med 융합
  • 선수학습
  • 조회 : 405
  • 등록일 : 2019-02-08
 

 

스쿨/캠퍼스

한국과학기술연구원

전공

Bio-Med 융합

유형구분

선수학습용

관련사항

MEMS, 재료과학

 

Micro and Nanofabrication (MEMS)

제공기관

EPFL

EDX

대표교수

Juergen Brugger

강의언어

영어

학습기간

7

이수비용

50

소개URL

https://www.edx.org/course/micro-and-nanofabrication-mems

강의주제 목록

Week 1: MEMS and cleanroom introduction

: This module introduces the basics of electromechanical systems (MEMS) and cleanroom fabrication.

 

Week 2: Chemical vapor deposition (CVD)

: This module on chemical vapor deposition or CVD describes in detail basic principles of CVD and will show you the cleanroom infrastructure that is used to run a CVD process.

 

Week 3: Physical vapor deposition (PVD)

: This module on physical vapor deposition describes in details the two main PVD methods; thermal evaporation and sputtering.

 

Week 4: Lithography

: This module on lithography describes in details the two main resist patterning methods: optical and electron beam lithography.

 

Week 5: Dry etching

: This module on dry etching describes etching in a gas environment. We will introduce etching directionality and anisotropy and give a few simple rules for choosing dry etching processes for specific materials in a plasma reactor and provide theoretical concepts that characterize a plasma in a dry etching equipment.

 

Week 6: Wet etching

: This module on wet etching describes etching in a liquid environment. We will introduce anisotropic wet etching of silicon substrates, where certain lattice planes are etched and others not, isotropic etching of silicon, and finally thin membrane microfabrication techniques using wet etching.

 

Week 7: Inspection and metrology

: This module describes methods of inspection and metrology based on four technique categories: optical, mechanical, charged beam and electrical.

MEMS

Microfabrication

Nanofabrication

 

 

 

관련분야

의공학

재료과학

마이크로시스템

나노시스템

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

발굴 추천자

성명

과정

확인교수

하상수

통합

박귀덕

스쿨/캠퍼스

한국과학기술연구원

전공

Bio-Med 융합

추천사유

본 강좌에서는 MEMS에 관한 전공기초지식과 micro- and nano-fabrication의 공정을 실제 제작영상을 보면서 폭 넓은 지식을 습득할 수 있으며, 세부적으로는 How to select the correct fabrication process for a specific micro-device or microsystem, Establish the workflow for the cleanroom processes, Identify how physical and chemical phenomena govern miniaturized systems for various applications, Resource planning for a given microsystem fabrication 등의 내용을 배울 수 있다. 교과서에 나오는 지식은 물론이고 실전이론과 실습하는 모습까지도 영상으로 확인가능해서 MEMS 관련 연구를 하는 분야의 학생에게 있어 새로 기초를 다지거나 또는 학부 때 배운 내용을 다시 한 번 복습하는 차원에서 이 강좌를 추천하고 싶다. 본 강좌는 총 7주로 수업이 이루어져 있고, 한 주당 3~5시간 정도의 수업청강시간이 요구된다. 본 강의는 영어로 수업이 진행되며 영어자막도 제공하기 때문에 국적에 상관없이 모든 UST 학생들이 수강가능하며, 온라인 강의이기 때문에 본인이 한가한 시간에 언제든 수업을 듣고 부족한 부분을 채울 수 있는 장점이 있다.

한계점 또는 수강시 유의사항

없음.

기타 자유 의견

없음.

 

 

 

 

 

 

 

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